| 扫描探针显微镜及扫描型探头显微镜的扫描方法 |
| JP2016177804 2016-9-12 发明申请 |
| 2018-3-22 |
| [A]具有一陡面形状的样品的步骤可以得到精确的图案，通过提供可缩短扫描时间的扫描探针显微镜样品的目的。根据本发明，使用[a]1是扫描探针显微镜观察单元(2)和，(3)垂直延伸的垂直扫描器，扫描仪7和水平延伸的水平方向，123第一4和第二4B设置在悬臂与悬臂垂直扫描器，设置。第一的第一端4上设置有探针的悬臂1，1，6，第二端4的B，第一的探针b之间设有悬臂2，2，6。第第一悬臂，悬臂2144第二B，6A和6B彼此相对的第一和第二的2探针1的探针，配置在同一轴线X对齐。图[图1] |
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