用于显微镜的光学系统的显微镜及其使用
 
JP2017089717  2017-4-28  发明授权

2018-3-20
 
  本发明提供一种用于显微镜光学系统,其能够实现适当的对比度及分辨率观察图像,即使在1μm阶配置试样,以便可接触或邻近于最靠近物侧的表面上的光学系统。用于显微镜的光学系统包括 : 照明光学系统,G11和物镜光学系统,物镜光学系统具有物镜透镜群(G11),第第一成像透镜群(G12),第第二成像透镜群(G13)中所述从物体侧,满足以下条件。(1)≤≤脑网络提取层NAL×2×15;(2)0.01≤NAL≤0.1;和(3)25≤≤Mo100,其中该照明光学系统的数值孔径为NAL G11。纳米的数值孔径的物镜透镜群(G11)上,和Mo的成像倍率的物镜透镜群(G11)。
 
仿站