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产业专利数据

导电探针、电性能评价系统、扫描探针显微镜、导电探针制造方法及电性能测定方法

US15701495 2017-9-12 发明申请

2018-3-15

一种导电探针，包括 : 设置在弹性构件上的突出部分；导电金属膜，覆盖所述突出部分的至少尖端；以及覆盖设置在突出部分的尖端上的导电金属膜的绝缘薄膜。