| 干涉显微镜的3D成像系统 |
| WOIL17050989 2017-9-4 发明申请 |
| 2018-3-15 |
| 在一些实施例中，显微干涉测量系统用于产生高分辨率三维图像中描述了单炮。超高速系统，实时多波长同步移相干涉显微系统，其使用三个颜色侦测器，如CCD摄像机，细纱在生产过程线或光电二极管阵列。各探测器依次设置有精度消色差相位掩膜，使得可以获得π/2相移信号同时两个或多个不同波长，从而使成像样品形貌变化大于λ/2。该系统使用专有的软件算法，以补偿非理想的光学元件(一个事先确定的校准程序)，并且提取物的高度。 |
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