| 排列的散光校正的装置和方法在多列的扫描电镜系统 |
| WOUS17050342 2017-9-6 发明申请 |
| 2018-3-15 |
| 一种多光束扫描电子显微镜(SEM)公开了一种系统。该系统包括电子束源配置成产生源的电子束。该系统包括一组电子-光学元件被配置为生成洪水电子束的电子源光束。所述系统包括多波束透镜阵列具有多个电子-光学路径配置成将所述泛光灯电子束进入多个初级电子束，一种荷电阵列和多个层被配置成调节至少一些所述多个原电子打火机光束。该系统包括一组电子-光学元件构造成将至少一些所述多个一次电子束到样品固定台的表面。该系统包括检测器阵列被配置成检测多个样品表面散发的电子响应于所述多个初级电子束。 |
微信公众号