| 荧光显微镜及包括其的基板检查装置 |
| KR1020160161930 2016-11-30 发明授权 |
| 2018-3-14 |
| 荧光显微术的相互明公开了包括基板检查装置。所述的基板检查装置，它优选的是，该检查平台，用于支撑衬底，所述检测信号用于获取图像从所述成像式荧光显微术，荧光显微术所述，...[]在所述的测试图案的照明光照明单元，所述照明光引导到所述分束器包括透镜单元的测试图案，用于测试所述获取的测试图案反射的光的图像，从所述摄像单元。特别地，所述照明单元，照明的多个照明灯安装在基板上，一个用于调节所述照明灯的位置，所述可选择性地调节照明位置的预定的波长。 |
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