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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

镜与四棱锥形孔相关的光源，以及电子显微镜

KR1020160112458 2016-9-1 发明申请

2018-3-12

本发明涉及一种在硅表面上形成的通孔形状采用电子束通过光束的光反射的反射镜，属于光学电子融合显微镜各向异性刻蚀区域由结晶结构，硅(111)的表面(100)的表面成一定角度的54。蚀刻入该通孔另一侧的侧部中位于中央的7°(锥形)，轻质反射镜狭长的通孔放置在一个方向上倾斜布置的反射光进入位点可以，上述光反射镜坯直径数串使用的过程中所描述的。