| 扫描探针显微镜及方法 |
| JP2017058165 2017-3-23 发明申请 |
| 2018-3-8 |
| [问题]来测量样品的电特性进行测量的干扰，精度好，不影响扫描探针显微镜。[解决方案]一种探针对样品定位部，标本，或在预定部分激发频率激励探针，所述谐振频率的变化转化为电容变化的样品的谐振频率调制信号，调频信号，以输出一频率调制信号解调器，包含在规定的频率分量和谐波的频率解调信号来提取信号中锁之间的不同位移放大器，差动位移信号，与样品之间的关系的输出电压施加到电容性转换部分，特征点对应的特征点检测部分，用于检测电压值的关系，所测量的电压值的直流偏置电压点检测的电压检测器，应用于样品，激励部，谐振器，频率调制器和操作锁入，用于测量样品的电特性测量部分，被提供。图[图1] |
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