| 扫描电子显微镜 |
| JP2016171641 2016-9-2 发明申请 |
| 2018-3-8 |
| [问题]在扫描显微镜，在样本条件下减少污染的效果。[解决方案]在扫描显微镜，样品照射带电粒子射束的带电粒子射束源输出，一种带电粒子检测器，用于检测从样本，所述带电粒子束源和所述检测器控制，和控制器，其中，所述控制器，1或更多个变量参数发生变化时，多个不同的参数值集合中确定，所述的每一个中的多个不同的参数值集合，当前时间采集的样品材料来改变吸收测量的结果，基于测量结果，从设定的参数值的参数值来测量多个不同组样品进行选择。图[图3] |
微信公众号