| 用于校正多柱扫描电子显微镜系统中阵列象散的装置和方法 |
| US15645863 2017-7-10 发明申请 |
| 2018-3-8 |
| 公开了一种多束扫描电子显微镜(SEM)系统。 该系统包括配置成产生源电子束的电子束源。 所述系统包括一组电子光学元件，所述电子光学元件被配置为从所述源电子束产生泛洪电子束。 该系统包括多束透镜阵列和多个充电阵列层，多束透镜阵列具有配置成将泛洪电子束分成多个一次电子束的多个电子光学路径，多个充电阵列层配置成调节多个一次电子束中的至少一些一次电子束，多个充电阵列层具有配置成将泛洪电子束分成多个一次电子束的多个电子光学路径，多个充电阵列层配置成调节多个一次电子束中的至少一些一次电子束。 所述系统包括一组电子光学元件，所述电子光学元件配置成将所述多个初级电子束中的至少一些引导到由台固定的样品的表面上。 所述系统包括检测器阵列，所述检测器阵列被配置为响应于所述多个一次电子束检测从所述样品的表面发射的多个电子。 |
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