| 基于光片显微镜的三维表面形貌仪及三维图像拼接方法 |
| CN201711234610.8 2017-11-30 发明申请 |
| 2018-3-6 |
| 本发明公开了一种基于光片显微镜的三维表面形貌仪及三维图像拼接方法，包括照明模块和成像模块；所述照明模块包括光源，光学准直器和柱形透镜依次沿同一光轴设置，所述的成像模块包括显微镜物镜，镜筒透镜和相机依次沿同一光轴设置，所述成像模块的光轴与照明模块的光轴的夹角为90度。本发明采用光片扫描的方式测量表面形貌，其扫描成片状扫描，非逐点扫描测量，有效提高测量速度。 |
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