| 一种扫描线圈、扫描电镜及扫描线圈的灌封装置 |
| CN201710859427.0 2017-9-21 发明申请 |
| 2018-3-6 |
| 本发明的一种扫描线圈、扫描电镜及扫描线圈的灌封装置，其中扫描线圈包括骨架，设置在所述骨架上的电路板，固定在所述骨架上的线圈，还包括将所述骨架、线圈、电路板封装一体的封装胶体层，且所述电路板的接线端伸出所述封装胶体层外。封装胶体层将所述骨架、线圈、电路板封装一体，该扫描线圈为一体结构，在镜筒内安装固定方便，相对于中心轴线旋转对称性较高。灌封装置设有对所述扫描线圈进行同轴定位，使所述扫描线圈的骨架的轴线与所述灌封腔的轴线同轴的定位结构，能保证灌封后的扫描线圈相对于中心轴线具有较高的旋转对称性。 |
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