| 显微镜稳定聚焦装置和方法 |
| EP16185629 2016-8-25 发明申请 |
| 2018-2-28 |
| 在显微镜物镜的相对位置的监测方法(2)相对于样品(7)试验梁(10)的光被引导到至少一个至少部分反射的表面(13-15)连接所述样品(7)，光(16)的测试光束(10)处反射的至少一个至少部分反射的表面(13-15)。注册并进行分析处理。此外，测试光束(10)引导到反射面(5)的显微镜物镜(1)的朝向所述样品(7)，光(17)的测试光束(10)处反射的反射面(5)的显微镜物镜(2)记录和评估。 |
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