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基于量程的实时扫描电镜非可视BINNER

SG11201800749X 2016-8-3 发明申请

2018-2-27

识别诸如SEM非视觉缺陷(SNV)的非视觉缺陷的技术包括生成晶片的层的图像，使用分类器评估图像的至少一个属性，以及识别晶片的层上的非视觉缺陷。控制器可以被配置为使用分类器识别非视觉缺陷。该控制器可以与缺陷检查工具通信，例如扫描电子显微镜(SEM)。