| 扫描探针显微镜以及用于检查试样表面的方法 |
| DE102016223663 2016-11-29 发明申请 |
| 2018-2-15 |
| 本申请涉及扫描探针显微镜(200)，用于检查样品表面(215)，包括 : 至少一个压电致动器(α)(430)，形成测量探头(230)之间的距离与样品表面(215)的变化；至少一个B)(第第一电路元件(510)，所述形成，所述至少一个压电致动器的电位(430)的变化；和(D)至少1/2电路元件(560)，形成的，所述至少一个压电致动器(430)，测量探头(230)之间的距离与样品表面(215)，通过放电至少一个压电致动器(430)增加。 |
微信公众号