| 扫描探针显微镜以及用于检查试样表面的方法 |
| DE102016214658 2016-8-8 发明申请 |
| 2018-2-8 |
| 本申请涉及扫描探针显微镜(1200)，用于检查样品表面(150)，包括 : 至少第一测量探头(α)(330)，其具有第第一安装部(305)和至少第一悬臂(310，810，1710，1910)，其中至少1/1的测量探头(320)设置；(b)所述至少1/1悬臂(310，810，1710，1910)构成，扫描操作开始之前的自由端(350)的至少1/1悬臂(310，810，1919)采用可调弯，第一固定部(305)的倾斜和/或预弯至少1/1悬臂(310，810，1710，1910)至少部分地补偿或增强；和(D)至少一个光学测量装置(1300)，适于确定可调弯曲。 |
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