| 设有底座和电子显微镜样品 |
| JP2016152069 2016-8-2 发明申请 |
| 2018-2-8 |
| [问题]的倾斜度和背散射电子探测器装置可以控制样品。[技术方案]该样品表面上假想线6安装在入射电子束的行进电镜样品台10，主体部分1，所述握持部(2)具有试样夹持面2，3一种和面，相对的背面(3)平行于所述样品保持表面2的一种用于检测背散射电子探测器本发明提供3，所述散射电子检测器3，电子束穿过孔3(52c)，所述握持部2，所述假想线绕体部上的点1可摆动地支撑B，所述背散射电子检测器3，2一种样品法线方向观察时，在支撑表面上，和周围的周边区域和背散射电子检测器3，样本夹持面2假想线的交点A和C可以移动到的位置。不重叠，和，检测样品表面，同时保持对合面(2)的平行状态，电子束束穿过的通孔(3)下移动的调节范围，保持部(2)支承，样品台。图[图2] |
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