扫描探针显微镜
 
JP2017512495  2015-4-14  发明申请

2018-2-8
 
  所述探头的相对速度,并且,表面形状的噪声测量结果很难产生的扫描探针显微镜。X方向和相反方向的往复运动方向,所述探针开关(P1)和P2相对移动位置返回到起始位置时,切换方向逐渐降低的相对速度,通过逐渐切换后的相对速度增加,防止相对速度突变的探针。Y-方向和Y方向位置返回到起始位置(P1和P2)以相反的方向移动运动时,逐步增加后探头的相对速度,从而逐渐减小的相对速度,防止突变的探针的相对速度。
 
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