| 带电粒子束装置和扫描电子显微镜 |
| WOJP17027864 2017-8-1 发明申请 |
| 2018-2-8 |
| 本发明提供一种带电粒子束装置，包括电子源(11)发射初级电子束(12)，物镜(18)上，下主物镜(26)聚焦电子束(12)发出的电子源(11)照射到样品上，样品台(24)，在试样(23)放置，和屏蔽电极(51)和电位板(22)使初级电子束(12)穿过。从所述样品台的上侧设置屏蔽电极(51)和电位板(22)以该顺序。所述样品台之间施加的电势差(24)和板(22)的电位。电位被施加到所述屏蔽电极(51)以减轻所述样品中产生的电场(23)。本实用新型由于电位差。 |
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