| 具有排列成阵列多类型集成X射线探测器的电子显微镜 |
| US15224628 2016-7-31 发明申请 |
| 2018-2-1 |
| 一种电子显微镜，包括 : 真空室，用于容纳待分析样品；光学柱，包括电子源和最终探针形成透镜，用于聚焦从电子源发射的电子；样品台，位于真空室中探针形成透镜下方，用于保持样品；以及多个X射线检测器，位于真空室内，相对于样品在室中的X射线发射位置以不同的取出角度。 提供起飞角以提高各种传感器的计数效率。 多个不同类型的检测器可以支撑在真空室内的机械支撑系统上，该机械支撑系统可以是可调节的。 一种方法包括通过在多个起飞角收集数据来操作传感器以优化精确X射线计数所需的时间。 |
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