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凹凸不平，单晶宽带隙材料的扫描隧道显微镜/构图尖

WOUS17029180 2017-4-24 发明申请

2018-2-1

本发明提供一种复合金属的宽禁带半导体触点的扫描隧道显微镜镜检和/或扫描，掘进光刻，形成的方法，以及使用该方法的复合金属-宽带隙半导体触点。