| 微型控制台联合显微镜传感器 |
| BG11233716 2016-7-21 发明申请 |
| 2018-1-31 |
| 本发明涉及一种微型控制台用于原子力显微镜的传感器，它特别适用于组合系统中使用原子力显微镜的光，电子或其它类型的显微镜或局部微/纳米方法。为此目的，本发明的微操作台传感器，由本体延伸的通道和有微型控制台包括弹性主体和探头部件，由于在探头具有开口周围连接有对称的弹性元件。通过确保视认性的开口朝向所述探头接口和其顶端，该探针座的开口端，所述底座的半径R的尺寸和高度H满足探针比 : 下式(转/小时) |
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