| 扫描隧道显微镜 |
| CN201710861990.1 2017-9-21 发明申请 |
| 2018-1-26 |
| 本发明属于扫描探针显微镜技术领域。本发明解决的技术问题是：现有扫描隧道显微镜使用电扫描管较多，制作和使用都比较复杂，而且体积大，不适合在极端条件下使用。本发明的技术方案为：一种扫描隧道显微镜，所述扫描隧道显微镜包括镜体、压电扫描管、以及压电步进马达，镜体内置空腔，压电扫描管和压电步进马达均安装在所述空腔内。本发明的有益效果是，制作简便，用1根压电扫描管即可完成实现探针?样品的粗逼近和扫描，能够在极低温以及强磁场等对扫描隧道显微镜尺寸有较大限制的极端环境中使用。 |
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