| 微米合金含有等长单个纳米孪晶的透射电镜原位纳米压痕方法 |
| CN201710749666.0 2017-8-28 发明申请 |
| 2018-1-23 |
| 本发明提供了一种微米合金含有等长单个纳米孪晶的透射电镜原位纳米压痕方法，属于纳米孪晶的透射电镜原位力学测试领域。采用宏?微?纳一体化金刚石刀具，每个刀尖的曲率半径为40?90nm，刀尖的高度为100?300μm，刀尖形成阵列，布满刀具表面。用金刚石刀具压印合金表面，化学机械抛光方法加工压印表面，抛光后合金表面粗糙度Ra为0.5?0.9nm。用带有聚焦离子束的扫描电镜，原位切割、粘接、转移和离子减薄，样品长度为5?20μm，高度为4?10μm，厚度50?100nm。用位移控制模式，最大位移为200?1000nm，加载速度10?30nm/s。本发明实现了单个纳米孪晶透射电镜原位纳米压痕方法。 |
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