| 一种用于透射电镜成像的相位板更换转移装置 |
| CN201710865777.8 2017-9-22 发明申请 |
| 2018-1-23 |
| 本发明公开了一种用于透射电镜成像的相位板更换转移装置,包括相位板安装座、相位板转移杆和相位板支架,相位板安装座包括安装有相位板的座体、设置在座体上的第一固定机构和第二固定机构;相位板转移杆的一端与透射电镜的样品台相连接,另一端设置有能够与第一固定机构可拆卸连接的第一连接机构并伸入透射电镜的镜筒内;相位板支架设置有能够与第二固定机构可拆卸连接的第二连接机构,远离镜筒的一端的相位板支架通过支撑杆与三维调节台相连接。本发明提供的相位板更换转移装置通过三维调节台对相位板支架在镜筒内的位置调节,使相位板安装座在相位板支架与相位板转移杆上进行可拆卸操作,可实现原位不破坏真空的相位板的更换。 |