| 集成法布里-珀罗腔的原子力显微镜系统 |
| US15248746 2016-8-26 发明授权 |
| 2018-1-16 |
| 提供了一种原子力显微镜系统，包括 : 导电悬臂支架； 电绝缘元件； 以及导电悬臂，所述导电悬臂在第一端经由所述绝缘元件锚固到所述悬臂支撑件，所述悬臂包括在与所述第一端相对的第二端处的探针尖端和所述悬臂支撑件，所述悬臂被配置为所述悬臂的背面电极以用于其背面致动； 一种法布里-珀罗干涉仪，包括 : 具有限定在所述悬臂上的第一反射镜的谐振器； 以及限定在所述悬臂支撑件上的第二反射镜，所述第二反射镜具有配置成允许与所述第一侧相反的光注入的第一侧和第二侧，所述第二侧相对于所述第一反射镜至少部分地延伸。 所述干涉仪包括发光装置和检测器，所述检测器被配置为检测由所述发光装置发射的光的干涉所影响的系统的特性。 还提供了操作方法。 |
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