| 一种可调节角度扫描电镜样品台 |
| CN201720534086.5 2017-5-15 实用新型 |
| 2018-1-9 |
| 本实用新型涉及一种可调节角度扫描电镜样品台，包括U型座板，U型座板的两侧板之间设置有上侧面为平面的载物台，载物台中间穿设有一转轴，转轴两端与U型座板两侧板上的座孔旋转配合；所述转轴一端设置有一凸齿，与凸齿对应端的座孔内侧壁设置有多个齿槽。该可调节角度扫描电镜样品台实现了多个不同形状样品批量扫描，避免频繁的装样和抽放真空，提高了扫描测试的效率；实现了样品扫描角度可控性，使用方便易操作，通用性强，提高了扫描质量。 |
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