| 装置和电子束扫描电子显微镜的信号生成方法 |
| KR1020160080540 2016-6-28 发明申请 |
| 2018-1-5 |
| 高速电子束扫描电子显微镜信号发生装置和方法被公开。水平和垂直扫描信号的扫描信号解析用户命令并且生成像素数据的扫描信号生成指令；所述用户命令，根据每步分辨率以及扫描分辨率由步进分辨率级别(步骤A级)的数据生成单元产生的数据电平；所述电子扫描电子显微镜的电路时间常数的时间常数根据所计算的信号的集成电路装置时间相对应的时间信号计算出的信号过驱动电压产生过驱动电压的扫描数据回归的回归数据的生成单元；所述台阶通过分辨率扫描分辨率数据生成单元生成的数据位电平不大于2V/T步骤和所述数据产生过驱动电压信号作为最终扫描信号产生单元产生的数据的过度驱动电压。扫描信号中存储的数据电压数据生成单元；最终扫描信号数据使用所述数据产生单元产生的电压扫描信号的扫描信号产生单元产生水平和垂直扫描信号的扫描信号；所述扫描信号产生部件，其安装在水平扫描信号与电子束垂直扫描信号的扫描装置扫描信号电流的驱动电流放大模块和驱动部分。 |
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