| 扫描电子显微镜 |
| US15196507 2016-6-29 发明申请 |
| 2018-1-4 |
| 一种扫描电子显微镜，包括 : 用于产生初级电子束的电子束源； 电子光学系统，被配置为在聚焦和偏转所述一次电子束的同时将所述一次电子束引导至样品； 公开了一种能够并行检测从样品发射的后向散射电子的能谱的能量分析系统。 所述能量分析系统包括 : 维恩滤波器，被配置为从射束轴分离所述后向散射电子并分析所述后向散射电子的能量； 以及阵列检测器，被配置为检测已经通过所述维恩滤波器的反向散射电子。 所述Wien滤波器包括多个电磁极，所述多个电磁极的中心侧端部分别具有锥形表面，所述锥形表面形成所述Wien滤波器的出口，所述背散射电子穿过所述出口。 |
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