| 数据处理装置扫描探针显微镜 |
| WOJP16068919 2016-6-24 发明申请 |
| 2017-12-28 |
| 该数据处理装置用于扫描探针显微镜的双轴工艺上的多个测量点获取的数据扫描样品表面上的样品表面，利用扫描探针显微镜的探针，并且表示一改变。一种第二第一的相对于变化的物理量的物理量，所述数据处理设备设置有 : 特征量计算部(41)计算一个或多个类型的特征量，从双轴在各个测量点的数据；特征量选择单元42，其使用户能够选择一个特征量；一种二维映射的图像显示单元(43)，显示在屏幕上的二维映射的图像中，每个测量点对应一个像素，在基于由用户选择的特征量；和双向数据显示单元(44)，显示，在屏幕上，当用户选择一个图像中的像素的二维映射，双轴测量点对应的所选择的像素数据，并连接到一个或多个像素所选择的相邻像素。 |
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