| 光学显微镜 |
| JP2014103449 2014-5-19 发明授权 |
| 2017-12-27 |
| 所要解决的问题是： 为了在一个部分捕获光学图像， 用带电粒子束照射并拍摄显微图像， 在不移动样品的情况下清晰明亮。解决方案： 提供了一种光学显微镜装置10， 在真空容器12中， 电子束辐照系统21具有真空容器12，在真空容器12中，载物台13设置在样品室11中， 以及用电子束照射样品W的观察部分，和用来自观察部分的二次电子束检测显微图像的电子束检测器26。 在真空容器内设置有拍摄观察部的光学像的光学成像系统，在样品室内设置有对观察部进行照明的照明用光源。 观察部直接被来自光源的照明光照射而进行照明。 |
微信公众号