| 用于蚀刻扫描隧道显微镜针尖的装置和方法 |
| CN201610427573.1 2016-6-16 发明申请 |
| 2017-12-26 |
| 本发明涉及用于蚀刻扫描隧道显微镜针尖的装置和方法。一种用于蚀刻扫描隧道显微镜针尖的装置包括：电路模块，包括电路单元和数据采集卡，电路单元包括P型晶体管和N型晶体管，P型晶体管的源极接收来自数据采集卡的第一输出端子的电源电压，P型晶体管的漏极连接到N型晶体管的漏极和待蚀刻的针尖，P型晶体管的栅极连接到N型晶体管的栅极，N型晶体管的源极连接到地电势，电路单元还包括比较器，比较器的正极输入接收来自数据采集卡的第二输出端子的参考电压，比较器的负极输入接收来自阴极电极的蚀刻电压，比较器的输出被提供给P型晶体管和N型晶体管二者的栅极；以及控制模块，其连接到数据采集卡以控制数据采集卡的各个输出。 |
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