| 带电粒子显微镜中使用的阴极发光检测仪 |
| EP16173566 2016-6-8 发明申请 |
| 2017-12-13 |
| 带电粒子显微镜，其具有真空室，包括 : -试样夹持器，用于夹持试样；-源，用于产生带电粒子的探测束；一种照明装置，用于将所述光束沿着中心轴，从而照射样品，还包括 : -检测器，用于同时检测多个波长在光子从所述样品发出的辐射通量的多色响应所述辐照，该探测器包括 : -多个光敏表面产生输出信号的每一个响应于检测到的光子辐射；和多个滤光片，具有彼此不同的传输特性，每个所述的感光面与相应的一个相关联并用于过滤掉落在其上的光子辐射。 |
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