| 该光谱与光学扫描显微镜 |
| JP2014560312 2013-2-28 发明授权 |
| 2017-3-15 |
| 一种带照明光扫描显微镜与m个点之间切换的照明模块和照明与N点的数量,偏转单元M或N个光点移动在预定的加样区,和共焦检测模块和样品的辐射的光谱分辨检测。所述检测器模块具有共焦光阑装置,一种拆分单元,设置在下游的共焦光阑装置,检测器,以及成像单元,图像的部分光束在空间上分离的方式在探测器上。共焦光阑单元正好与M之间切换的共焦光阑小孔M点照明和用于N点N共焦光阑小孔照明。所述分光单元包含第一M点照明光束路径和第第二光路进行N点照明。所述拆分单元,两个光程之间切换。 |