| 整体控制装置安装在电镜体 |
| KR1020150137626 2015-9-30 发明授权 |
| 2017-3-10 |
| 本发明涉及一种扫描透射电子显微镜(STEM)，透射电镜(TEM)样品(栅)3的三维各向异性，观察样品的倾斜转动也可二维移动+[3+]的装置涉及号码，位置改变装置作为TEM各向异性(栅)，壳体(10)，基部(20)，旋转驱动单元(30)，X轴致动器(40)，Y-轴致动器(50)，Z-轴致动器(60)，[[thil thil][物]驱动的问题(70)和部分(80)包括筒体(101)具有集成的TEM样品编号安装到所述装置的方法。 |
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