| 电子显微镜及其控制方法 |
| US15591331 2017-5-10 发明申请 |
| 2017-11-16 |
| 本发明提供了一种电子显微镜，其中交叉位置可以保持恒定。 电子显微镜(100)包括 : 发射电子束的电子源(110)； 加速管(170)，其具有加速电极(170a-170f)并可操作以加速电子束； 第一电极(160)，其操作使得在该第一电极(160)和加速电极(170a)的初始阶段之间产生透镜作用； 加速电压源(112)，用于向加速管(170)提供加速电压； 第一电极电压源(162)，用于向第一电极(160)提供电压； 以及控制器(109b)，用于控制第一电极电压源(162)。 在第一电极(160)和加速电极(170a)的初始阶段之间产生的透镜作用形成电子束的交叉(CO2)。 控制器(109b)控制第一电极电压源(162)，使得如果加速电压被修改，则施加到第一电极(160)的电压与施加到加速电极(170a)的初始阶段的电压之间的比率保持恒定。 |
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