| 光学扫描显微镜和检查方法 |
| WOEP17061470 2017-5-12 发明申请 |
| 2017-11-16 |
| 本发明涉及一种光学扫描显微镜(1)，2，3)，它包括照明系统(20)，具有光源部(100-103)发出的光源(100)，第第一偏振相关分束器(105)和第第二偏振相关分束器(105)和第一光通道(21)和第二光信道(22)之间的第第一分束镜(105)和第第二分束镜(105)，所述光源部(100-103)被配置成发出第第一照明光束(203)的光，主偏振方向的第一和第二的主极化方向，第第一分束镜(105)被配置成至少大部分的主偏振方向的光第一导向第一通道(21)的主偏振方向成第二和第二的光通道(22)，第第二分束镜(105)被配置为形成第二照明光束(24)从光与第一主极化方向第一与第二主通道(21)和从光偏振方向约第二通道(22)，所述通道(21，22)，被配置为发射光第一从第一通道(21)的主极化方向和光第二从第二通道(22)的主极化方向具有不同会聚角。同样是本发明的主题对应的方法。 |
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