| 扫描探针显微镜结合物体表面改性的装置 |
| EP15877224 2015-7-10 发明申请 |
| 2017-11-15 |
| 扫描探针显微镜结合物体表面改性的装置，涉及一种测量装置，尤其用于监视对象装置使用切割后的纳米探针测试的宏，微载体结构低温条件下。本发明的目的是扩大了功能性能力的组合的扫描探针显微镜与物体表面改性的装置。本发明提高了图像质量的技术效果。所述的香精本发明恢复的那样 : 一种扫描探针显微镜结合的物体表面改性的装置，包括底座1，在其上冲头组件(2)与冲头(3)具有第一切削刃(4)和相邻的第一表面5，所述冲头组件(2)具有第一驱动器8在第一X轴点9和第二驱动在Y轴点第二，还包括平台10安装在基础1，可沿Z轴点第三和第三驱动器11耦接在Z轴点第三，所述点的XY轴平面正交点，还包括压电扫描器(15)可沿X，Y轴和Z轴的点与支架(16)带含17物件载具的物体(18)，所述压电扫描器(15)固定到平台10，所述冲头(3)设置为能够与之进行交互的物体18，还包括探头单元(25)与头架(26)，探头(27)固定，所述探测器单元25固定到平台10上，并可沿X轴点第一耦接第第四驱动器30在第一X轴点，虽然探头27可交互对象物(18)，所述显微镜包括机械动作的第第一模块35，固定到平台10，以能够与所述冲头(3)。具有以下选项的设置，其重量比 : ?选项1第一模块安装的机械动作，从而能够与第一刃口所述冲头；?选项2第一模块安装的机械动作，从而能够与第一表面相互作用所述冲头；?选项3第一模块安装的机械动作，从而能够与第一刃口所述冲头和第一表面；?选项4-至少1/2引入的机械动作模块，所述模块安装在平台上，以能够与物体相互作用模块；?选项5第二模块安装的机械动作，从而能够与物体相互作用；?选项6第二模块安装的机械动作，从而能够与物件载具；?选项7第二由柔性材料的机械动作模块和安装，从而能够进行交互与所述压电扫描器；?选项8-第一的机械动作模块包括第一加热单元；?选项9-第一的机械动作模块包括第一压电模块；?选项10-第一的机械动作模块包括第二切削刃；?选项11-第一的机械动作模块包括尖锐的点；?选项12-第一的机械动作模块包括具有粗糙表面的区域；?选项13-第二的机械动作模块包括第二加热单元。?选项14-第二的机械动作模块包括第二压电模块。?选项15被引入压电单元固定于所述探头单元，探头夹持器安装在其上。?选项16该压电单元设置，以能够沿着X轴第一移动点的Z轴点第三。?选项17该压电单元设置，以能够沿着X轴第一移动点的Y轴点第二。?选项18该压电单元设置，以能够沿X轴点第一，Z轴第二的Y轴处和第三点。?选项19基础的所有元件都置于低温腔，这种结构能提高质量的图像质量所述装置扩展了产品的功能。 |
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