| 扫描探针显微镜的探针接触检测方法 |
| EP17162737 2017-3-24 发明申请 |
| 2017-10-4 |
| 本发明提供了一种扫描探针显微镜的探针接触检测方法，其能够改进当样品表面，利用该现象的探头接触的斜面，所述的压紧力值检测探针和样品之间的接触面相比，改变所述水平面。一种扫描探针显微镜扫描样品表面有通过使探头探针与样品表面接触，在其尖端具有所述探针包括悬臂；位移检测单元，用于检测两个悬臂的弯曲量和扭转量；以及确定单元，用于确定主触头的接触探针与样品表面，基于弯曲量与扭转位移检测单元检测出的量值在所有方向上从未变形状态的悬臂。 |
微信公众号