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一种基于测距的实时扫描电镜非可视化分装器

WOUS16045410 2016-8-3 发明申请

2017-2-9

技术来识别非可视缺陷，SEM等非视觉缺陷(snvs)，包括晶片生成图像的层，评估至少一个属性的图像使用分类器进行分类，识别非可视层的晶片上的缺陷。控制器可被配置为利用所述分类器来识别非可视缺陷。该控制器能够将与缺陷复查工具，例如扫描电子显微镜(SEM)。