| 一种产品形貌质量管理电子显微镜 |
| CN201620029012.1 2016-1-13 实用新型 |
| 2016-8-17 |
| 本实用新型公开了一种产品形貌质量管理电子显微镜，包括聚光镜头、散光像差补偿器、二次电子探测器和样品室，电子枪下端设置有会聚光圈，所述会聚光圈一侧设置有对准线圈，所述对准线圈下端设置有所述聚光镜头，所述散光像差补偿器一侧设置有偏转线圈，产品聚光镜头一侧设置有所述二次电子探测器，所述产品聚光镜头下端设置有样品台，样品室下端设置有真空系统，终端光片一侧设置有电子集成器，光电倍增器一侧设置有二次电子收集器。有益效果在于：购买和维修价格便宜，成像效果清晰，可以方便企业对产品的质量进行观察，有益于企业对产品质量的管理，通过观察不合格产品能够使企业寻找出生产制造时出现的问题，及时更改，较少制造成本。 |
微信公众号