| 扫描显微镜 |
| JP2016092565 2016-5-2 发明申请 |
| 2016-8-12 |
| 要解决的问题 : 结合瞳孔提供一种可以实现两个部件的XY扫描显微镜。溶液 : 扫描显微镜(10)，通过向试样照射照明光，发出的光从样品收集器和物镜(37)，物镜的光瞳37和投影图像的投影透镜(34)，这些透镜37，34和第一垂直于光轴的平面内大致1(1)旋转的偏转元件(33)的X方向，和，在第一和第二基本正交的方向的平面12(2)旋转的偏转元件(33)的Y方向扫描的扫描单元33，1和2方向不同的第第一折射光焦度第一，第二和第三光轴1的光轴1的方向并且包括第一面和第第二面2的方向2的轴方向上的不同位置上的瞳孔图像的瞳孔位置调节光学系统35，具有，偏转元件第一的第一表面33×11的瞳孔图像的旋转中心位于大致相同的位置，偏转元件第二的第一表面33 |
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