| 显微镜系统，计算功能的方法，以及程序 |
| JP2014253527 2014-12-15 发明申请 |
| 2016-6-23 |
| 所要解决的问题 : manageming容易且高精度地校正球面像差。解决方案 : 所述的显微镜系统(1)，运算部(20)和显微镜。显微镜和物镜(110)和校正球面像差校正环111上，Z各物镜(110)的位置，所述设定值，修正环111的每一个中的多个样品S的不同状态以获得图像数据。该运算单元(20)，Z位置的每一个中的多个显微装置基于获取的图像数据，球面像差修正，修正环111在z-位置计算的目标值的设定值，和至少一个的至少一个Z33基于位置的目标值的组合的z-位置中，Z位置和目标值之间的关系函数，示出，通过内插或近似函数来计算。选择附图中 : 图。1 |
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