| 电子显微镜测量磁场，以及磁场测量方法 |
| JP2016108692 2016-5-31 发明申请 |
| 2017-12-7 |
| [问题]为了在电子显微镜测量场信息，一种场分布的磁场分布测量的样品中分离精度高。[技术方案]该电子源(1)，一种电子枪，偏转线圈(3)，会聚透镜4，4B，照射系统的像散补正线圈(5)，照射系统的偏转线圈(6)，施加到线圈8的磁场，所述物镜(11)，成像系统的像散补正线圈(12)，偏转线圈13的成像系统，13B，放大透镜17，电子检测器18，从所述控制分析仪20等，第一施加的磁场后控制分析样品10，然后将第一的输出信号第一的电子控制电子检测器测量信息领域，然后将第二场施加到在后，第第二电子束控制，(第二)地重复若干次电磁场测量信息，第一和第二得到的电磁场和磁场分布的磁场分布测量的试样分离精度高。[图5a图] |
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