| 扫描探针显微镜 |
| WOJP16066338 2016-6-2 发明申请 |
| 2017-12-7 |
| 在本发明中，当跟踪图像数据使用期间采集探头(16)来扫描样品(10)上的一个区域中正向扫描和回扫时所获取的图像数据的反方向相同的区域，偏差信息存储单元(32)存储偏移检测单元检测到的偏差(20)。该偏差指示所述探针和样品之间的距离之间的差值和目标在给定时间点的距离值。图像数据选择部(31)比较所述偏差与在每个正向和反向扫描时的偏差测量点，扫描期间采集的图像数据中选择具有最小偏差，并将其存储到存储区域(33)的图像数据存储单元(33)作为所选图像数据。图像形成单元(30)产生样品表面形状所选择的图像数据和图像的基础上显示在显示单元(5)。作为结果，即使有陡峭的凹陷或突起，在样本(10)并设有跟踪延迟或反馈控制中的干扰的探针和样品之间的距离，可以准确的图像显示靠近样品表面的实际形状。 |
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