| 装置和方法用于三维定位的显微镜样品中的点对象 |
| JP2012247350 2012-11-9 发明授权 |
| 2017-12-6 |
| 本实用新型具有检测器单元(146, 148)，其接收光束。所述探测器单元探测面(150, 152)上设置有用于检测光点。评估单元(154)评估每个光束光斑的相应检测XY位置的侧表面上点状物体相关联(114)和轴向z位置相关联的点状物体。所述评价单元中存储的Z位置校正值，以具有纵色像差检测的光学器件(108)。所述评价单元校正检测与z位置相关的波长区域的校正值。本发明涉及一种点状目标三维定位方法中的样品。 |
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