| 高度进行校准的方法使用原子力显微镜 |
| KR1020160065642 2016-5-27 发明申请 |
| 2017-12-6 |
| 本实用新型实施例中的物体的扫描探针显微镜是自身高度的高度测量校准方法其含有测量物体测量的原子力显微镜的载置部上，压电驱动器的绝对位移值测量的绝对位移传感器输出值根据编号1号测量控制方法固定号码(1)通过所述绝对位移值和所述压电BIOS升降来校正被测量出物体的高度变换系数按固定数量的2号2号的控制方法对输出测量检测压电基本输入输出系统所述物体的位移高度和所述高度获取变换系数相乘，所述高度值，将绝对位移值的所述变换系数的所述数量的输出值可以是压电的BIOS本实用新型实施例中的对象1的高度是测量扫描探针显微镜螺纹高度和变换通过施加校正系数过程只传感器具有线性特性，全分辨率好过程中由精密高度测量传感器。 |
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