| 一种用于扫描电镜样品台升降防撞装置 |
| CN201610352119.4 2016-5-25 发明申请 |
| 2017-12-5 |
| 本发明公开了一种用于扫描电镜样品台升降防撞装置，在扫描电镜样品室外侧安装激光发射器、激光接收器，激光发射器发射激光束，激光接收器接收激光束，在样品上升空间的适当位置形成大于样品宽度激光光栅，当样品上升时样品任一部位遮挡激光束时，激光接收器检测到激光被遮挡后输出遮挡信号，该信号通过驱动放大电路，使样品台升降步进电机立即停止上升，从而避免失控上升样品碰撞背散射探测器，彻底避免探测器被撞坏无法工作。本发明避免了由于计算误差带来的碰撞风险，杜绝背散射探测器由于样品上升撞坏引起的损失，防撞装置响应迅速及时，空间位置定位精度高，对扫描电镜的检测分析、形貌观察不会产生干扰和影响。 |
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