透射电子显微镜增强样品
 
US15217968  2016-7-22  发明授权

2017-12-5
 
  一种用于在透射电子显微镜和其它分析仪器上观察的薄片,包括由较厚的区域或肋隔开的多个薄区域。 在一些实施例中,层可以宽于50μm,具有多于10个的多个薄区域,每个薄区域可以薄至10nm或甚至更薄。 制造这种薄片的过程适合于自动化。 该过程是容错的,因为只要一个区域提供有用的图像,并不是所有的多个薄区域都需要可用。 由于在自动化过程中离子束成像减少,并且由于肋减少了区域之间的再沉积,因此再沉积减少。
 
仿站