| 具有原位沉积功能带电粒子显微镜 |
| US15170672 2016-6-1 发明申请 |
| 2017-11-30 |
| 带电粒子显微镜带电粒子显微镜， 包括真空室，在真空室中提供 : 一种用于将试样保持在照射位置的试样保持器， 用于产生带电粒子束并引导其照射样品的探测器， 所述真空室包括原位磁控溅射沉积模块，所述原位磁控溅射沉积模块包括用于产生靶材料的蒸汽流的磁控溅射源；台配置成在所述辐射位置和所述沉积模块处的单独沉积位置之间移动包括所述样品的至少一部分的样品；所述沉积模块配置成当保持在所述沉积位置时将所述靶材料的层沉积到所述样品上。 |
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